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Nano 3D

La microscopie optique nouvelle génération

Ce projet, piloté par Paul Montgomery du laboratoire ICube (Unistra-CNRS) porte sur le développement d’un microscope interférométrique 3D offrant une résolution en rupture grâce à l’application du jet photonique.

Le marché mondal de la microscopie est aujourd’hui en forte croissance, motivé par la miniaturisation croissante des technologies et procédés. Le projet Nano3D s’inscrit dans un positionnement avantageux puisqu’il permetrait de multiplier par 4 la résolution de la microscopie interférométrique conventionnelle (ou profilométrie 3D) sans en augmenter le coût.

En effet, des technologies ne reposant pas sur l’optique permettent d’atteindre des résolutions supérieures, mais leur complexité de mise en œuvre (préparation du support, mise en place de l’observation, lenteur d’analyse de surface…) limite considérablement leur adoption.

Un démonstrateur représentatif industriel de nanoscope interférométrique 3D sera réalisé dans le cadre du programme de maturation.

Investissement : 334 000 € sur une période de 18 mois